金融界2024年10月30日音讯，国家知识产权局信息数据显现，深圳市库比克科技有限公司请求一项名为“微波等离子化学气相堆积设备”的专利，公开号 CN 118835224 A ，请求日期为 2024 年 9 月 。
专利摘要显现，本发明触及微波等离子化学气相堆积技术领域，且公开了微波等离子化学气相堆积设备，包含反响部件，所述反响部件的一侧装置有波导部件，所述反响部件包含反响机壳、反响腔组织和磁力旋转调控组织，所述反响机壳与波导部件为固定衔接，所述反响机壳的内侧设置有反响腔组织，所述反响腔组织的外侧设置有磁力旋转调控组织，所述磁力旋转调控组织包含电磁铁、调控组件、旋转组件和升降组件，所述反响腔组织的外侧设置有若干个电磁铁。本发明经过对反响腔内部的等离子体施加旋转式的磁场，在旋转式磁场的效果下，其内部的呈圆周等分的磁场进行圆周高速滚动，进而在石英筒的内部构成相似圆柱体的等离子的散布状况，大幅度提高了等离子体散布的均匀性。